近日,湖南省工信厅发布了2024年度第一批“湖南省省级工业新产品”名单,金岭机床自主研制的JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机被认定为“湖南省省级工业新产品”,进一步展现了公司在超精密设备领域的创新实力。
△2024年度第一批“湖南省省级工业新产品”名单
据了解,“湖南省省级工业新产品”是湖南省工业和信息化厅为大力实施“三高四新”战略定位和使命任务,强化企业技术创新,鼓励和支持企业新产品开发和应用,培育发展新动能所设立的项目。
本次认定的新产品是金岭机床自主研发的超精密半导体智能研磨抛光机,其各项性能指标达到行业水平。可适用于半导体材料、光学材料、蓝宝石材料、陶瓷材料、硅、锗等材料多片式或大片式晶圆的研磨和抛光。
JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机
01 功能特点
1.设备机身采用铸件床身,四轴四工位设计,湿式抛光工艺;
2.采用标准四轴机床数控系统和面板,确保加工晶圆的精度;
3.精密下盘和压力盘具有冷却水循环系统,控制抛光时的盘面温度,保证抛光质量;
4.每组打磨主轴配置独立的RTCP功能,能方便快捷地实现对抛光加工时的参数监控与控制;
5.通过更换不同的耗材磨料,能同时去除材料纹刀纹、并且具备抛光、精抛光功能于一体;
6.电气、气动元件采用国际品牌,如SEW减速机、SMC&CKD气缸、三菱PLC、三菱伺服电机、三菱触摸屏等,噪音小,控制稳定。
02 性能指标
1.加工模式:四工件同时加工;
2.控制系统:四轴联动数字控制系统;
3.运动组件:四轴伺服(X.Y.Z.A*4);
4.绝缘强度:1KV,50HZ;
5.设备润滑方式:系统自动润滑。
03 技术参数
04 应用案例
金岭机床为东旭集团超薄柔性电子玻璃生产线(我国首条UTG产线)提供的“四轴精密抛光机上下料机器人工作站”,是金岭机床科技创新的又一杰出成果。该工作站具有高效、精准、稳定等特性,能够大幅提升生产效率,降低运营成本,帮助企业实现数字化转型和智能化升级。
用自己的设备 创制造业奇迹
金岭机床深耕高硬脆材料和高性能研磨抛光材料领域多年,已经形成一批拥有自主知识产权、国际国内有名品牌、较高附加值和市场竞争力的创新型产品。尤其在第三代半导体晶圆研磨抛光应用领域,已取得多项关键性技术突破,部分产品已处于国际地位。
作为国内出色的数控切削机床和新能源智能装备系统解决方案提供商,金岭机床自成立以来,坚持产品创新,着力于实现关键技术国产化、工艺优化、生产智能化,公司产品自主可控化率达到85%以上,有效实现了关键装备国产化。
目前,金岭机床已经拥有自主研发的五轴联动数控机床、关键功能部件、高档专用数控系统三大类产品和柔性自动化产线系统,产品广泛应用于汽车、航空航天、精密电子、碳素材料、轨导交通、工程机械、职业院校等重点领域。真正做到了“用自己的设备,创制造业奇迹”。
此次入选湖南省省级工业新产品名单,再次充分证明金岭机床在技术创新开发方面的优势。未来,公司将继续立足于国家所需、行业所趋,坚持以技术创新为本,专注装备产业的发展,紧跟行业发展和客户需求,不断推动国产装备发展取得新突破,指引设备迭代升级和系统能力提升,以更加专业的产品推动中国制造业健康发展,为打造国家重要先进制造业高地贡献更多“金岭力量”。